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消費(fèi)電子行業(yè)

微小電子元件測(cè)試

時(shí)間:2018-09-08 16:46:53 作者:鐳爍光電 點(diǎn)擊:

產(chǎn)品描述

一.功能

測(cè)量元件高度尺寸

微小電子元件測(cè)試

二.方案配置

鐳爍光電激光3D輪廓傳感器 LS-A80007一臺(tái),工控機(jī)一臺(tái),控制器一臺(tái)

三.方案實(shí)施

元件放入治具,治具在輪廓儀下方定位,輪廓儀進(jìn)行取像測(cè)量

微小電子元件測(cè)試

 

軟件界面:

微小電子元件測(cè)試

 

算法簡(jiǎn)述:

首先通過(guò)捕捉元件的彎曲點(diǎn)或者邊緣點(diǎn)進(jìn)行定位,然后對(duì)輪廓進(jìn)行64次均值平滑濾波和9次中位數(shù)濾波,最后利用高度差計(jì)算需求的元件尺寸。

軟件特點(diǎn):

元件的特征點(diǎn):彎曲點(diǎn)或者邊緣點(diǎn)被捕捉到之后界面顯示擺放OK,此時(shí)計(jì)算結(jié)果可以進(jìn)行數(shù)據(jù)存儲(chǔ),如果元件未被放置到位則提示“未識(shí)別到元件”,如下圖所示,此時(shí)不會(huì)進(jìn)行數(shù)據(jù)保存。大小元件均可直接測(cè)量不需要進(jìn)行軟件參數(shù)調(diào)整。數(shù)據(jù)保存以CSV格式,以便用戶以excel打開(kāi)。

微小電子元件測(cè)試

 

四.精度分析

客戶要求精度在10微米以內(nèi),動(dòng)態(tài)實(shí)測(cè)重復(fù)精度約為9微米

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