檢測內(nèi)容：

高度差

檢測設(shè)備：

鐳爍光電激光3D輪廓傳感器LS-A80007

主要性能指標(biāo)：X方向測量范圍0~7mm，Z方向范圍0~5mm，精度±3μm，重復(fù)精度1μm。

檢測原理：

利用激光三角反射原理，激光束被放大成一條激光線投射到被測物體表面上，反射光透過高質(zhì)量光學(xué)系統(tǒng)，投射到成像矩陣上，經(jīng)計算得到傳感器到被測量表面的距離（Z軸）和沿著激光線的位置信息（X軸），移動被測量物體或者輪廓儀探頭，就可以得到一組三維測量值。

初步說明：

重復(fù)測量10次：

綜合說明：

1. 高度差1測量在沒有定位治具的情況下取放誤差20微米，預(yù)計治具定位后精度在10微米左右

2. 高度差2因為測量區(qū)域過小，直接測量誤差較大，需要特殊算法