檢測要求

PFC上膠體高度檢測

檢測設(shè)備：

鐳爍光電激光3D輪廓傳感器LS-A80020

主要性能指標(biāo)：X方向測量范圍0~18mm，Z方向范圍0~22mm，精度±10μm，重復(fù)精度1μm。

檢測原理：

利用激光三角反射原理，激光束被放大成一條激光線投射到被測物體表面上，反射光透過高質(zhì)量光學(xué)系統(tǒng)，投射到成像矩陣上，經(jīng)計(jì)算得到傳感器到被測量表面的距離（Z軸）和沿著激光線的位置信息（X軸），移動(dòng)被測量物體或者輪廓儀探頭，就可以得到一組三維測量值。

檢測方法：

1將PFC放置于輪廓儀下方

2. 得到膠體的輪廓圖像

3. 提取輪廓線

4. 計(jì)算膠體的峰值高度

5. 移動(dòng)PFC，測量多個(gè)截面的輪廓并計(jì)算高度峰值。

6. connector處的測量

檢測效率：

輪廓儀對(duì)一個(gè)輪廓進(jìn)行取像+提取輪廓+計(jì)算結(jié)果約為20ms。